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  水環(huán)真空泵之電真空器件的工作原理  
 
水環(huán)真空泵之電真空器件的工作原理

 

   

 

 

由于各種電真空器件的工作原理是基于電場(chǎng)、磁場(chǎng)來(lái)控制電子在空間的運動(dòng)借以到達放大、振蕩、顯現圖象等目的。水環(huán)真空泵因而真空泵系統能防止電子與氣體分子間的碰撞,保證電子在空間的運動(dòng)規律,避免發(fā)射熱電子的陰極氧化中毒,把電子器件內抽成不同電真空器件所請求的不同真空度、保證電子器件的正常工作。水環(huán)真空泵目前電真空工業(yè)中所消費的電真空器件主要有各種電子管 ( 整流管、發(fā)射管、收信管、速管、行波管、磁控管、光電管等 ) ;各種離子管 ( 泵弧整流管、引燃管、計數管、閘流管、噪音管、雷達開(kāi)等 ) ;各種電子束管 ( 示波管、攝象管、顯象管、 x 光管、變象管等 ) ;水環(huán)真空泵各種電光源管( 照燈,光譜燈、儀器用燈等 ) 以及中子管、電子衍射儀、電子顯微鏡、 x 光顯微鏡,各種粒子加速器、質(zhì)譜儀、核輻射譜儀、氣體激光器以及應用真空中電子束停止除氣、熔煉、區域提純、難熔金屬和介質(zhì)的凝結和鉆孔,開(kāi)槽切割、放射性同位素的蒸發(fā),難熔金屬的焊接等許多方面。水環(huán)真空泵這些電子器件及工藝,在近代科學(xué)和近代大工業(yè)消費中所起的作用是顯而易見(jiàn)的。水環(huán)真空泵中、低真空系統是能獲得10-3托以下真空度的系統,以旋片泵或吸附泵等為主泵,配以真空閥門(mén)、捕集器及管道等連接而成。水環(huán)真空泵這樣組成的系統抽速一般較小,如要提高抽速可選用滑閥真空泵或羅茨泵機組。中、低真空系統結構簡(jiǎn)單、排氣量大,主要用在各類(lèi)電子管的預排,白熾燈與熒光燈的排氣,真空儲存柜和離子戮射鍍膜機等裝置中。水環(huán)真空泵中、低真空系統的真空度可用火花檢測器或放電管指示器來(lái)估計,也可用熱傳導真空計來(lái)測量。水環(huán)真空泵為了提高系統的工作真空度,減少旋片泵油蒸氣和系統中水蒸氣對真空系統的影響,在三通玻璃活塞上,側接一只外冷式液氮冷阱。水環(huán)真空泵帶液氮冷阱的真空系統工作真空度可以達到10-3托左右。若該系統要反復暴露大氣,采用活性氧化鋁擋油阱同樣能達到上述目的,不過(guò)活性氧化鋁要定期激活。
 

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