真空泵選型方法
真空泵選型方法真空泵選型方法真空泵選型方法真空泵選型方法] 選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項： 1、真空泵的工作壓強應該滿(mǎn)足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個(gè)到一個(gè)數量級。 2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應該選在這個(gè)范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長(cháng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于110-5mmHg為好。 3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。 4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。 5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí)，應該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。 6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。 7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 9、真空泵的價(jià)格、運轉及維修費用。 水環(huán)式真空泵的選擇 一、泵類(lèi)型的確定 泵的類(lèi)型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。 泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面： 盡可能要求在高效區內，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行。應避免在******真空度或******排氣壓力附近運行。在此區域內運行，不僅效率極低，而且工作很不穩定，易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區域之內運行，往往還會(huì )發(fā)生汽蝕現象，產(chǎn)生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì )導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無(wú)法工作。 根據以上原則，當泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿(mǎn)足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線(xiàn)在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機組作為抽真空裝置。 二、根據系統所需的氣量選擇真空泵 初步選定了泵的類(lèi)型之后，對于真空泵，還要根據系統所需的氣量來(lái)選用泵的型號。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計算可參照我公司網(wǎng)頁(yè)真空計算公式。
